Vaakumkomponendid

Kuumtöötlus hõlmab peamiselt oksüdatsiooni-, difusiooni- ja lõõmutamisprotsesse.Oksüdeerimine on aditiivne protsess, mille käigus räniplaadid asetatakse kõrge temperatuuriga ahju ja nendega reageerimiseks lisatakse hapnikku, moodustades vahvli pinnale ränidioksiidi.Difusioon on ainete teisaldamine kõrge kontsentratsiooniga piirkonnast madala kontsentratsiooniga piirkonda molekulaarse termilise liikumise kaudu ja difusiooniprotsessi saab kasutada spetsiifiliste dopinguainete legeerimiseks ränisubstraadis, muutes seeläbi pooljuhtide juhtivust.